60mm x 57mm X 1250mm 無摩擦 OAV 空氣軸承桿

OAV 空氣軸承桿採用型材設計，便於改裝到現有應用中或設計到新應用中。它會在表面和基材之間產生均勻分佈的氣體膜。由於氣體粘度低，粘性剪切造成的摩擦損失因此導致避免機械接觸。氣壓和真空的結合使軸承桿能夠將基板固定下來，同時將其從表面抬起，以實現最高的精度和飛行高度。 20 至 120 微米的飛行高度範圍保持 ±5 微米的穩定性。