OAV 에어 베어링 바는 기존 애플리케이션에 쉽게 개조하거나 새로운 애플리케이션으로 설계할 수 있도록 프로파일 디자인으로 생산됩니다. 표면과 기판 사이에 균일하게 분포된 가스 막을 생성합니다. 가스 점도가 낮기 때문에 점성 전단에 의한 마찰 손실은 기계적 접촉을 방지합니다. 공기압과 진공이 결합되어 베어링 바가 기판을 아래로 유지하면서 동시에 표면에서 들어 올려 궁극적인 정밀도와 플라이 높이를 얻을 수 있습니다. 20~120미크론의 플라이 높이 범위는 ±5미크론의 안정성을 유지합니다.
